Komposit-Materialien aus molekularen Precursoren über Tandem CVD und
Sol-Gel Techniken
Professor Dr. Michael Veith
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien gGmbH
Saarbrücken
Zusammenfassung
Über die Kombination von Gasphasenmethoden (CVD) mit nasschemischen Methoden (Sol-Gel) soll ein Verfahren etabliert werden, bei dem mehrschichtige Filme entstehen, die im Prinzip aus einer kinetisch labilen und einer thermodynamisch stabilen Phase bestehen. Derartige Zweischicht- bzw. Mehrschichtsysteme lassen sich über physikalische Methoden (z.B. über Laser) strukturieren, wobei die Metastabilität der einen Phase ausgenutzt wird. In den verbleibenden zwei Jahren sollen Schichtsysteme wie HAIO/SiO2, Sn.SnO2/SiO2 etc. aufgebaut werden. Die dargestellten Mehrlagensysteme sollen in einer kontinuierlichen Anlage produziert und strukturiert werden und können als Sub-Mikrometer strukturiertes Material z.B. als Hologramme Verwendung finden. Die nötige verfahrenstechnische Seite soll die Übergänge zwischen Sol-Gel-Technologie, Gasphasenabscheidung und Laser-Strukturierung zu überwinden helfen.
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